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真空泵浦保護×製程污染控制×半導體高潔淨真空解決方案
2026.09.04 工商時報 王羿勛
長期投入真空泵浦及相關過濾產品市場的慧智實業，代理美國SOLBERG® Manufacturing專業過濾品牌，將真空過濾、氣液分離及污染控制技術導入台灣，進一步切入半導體與高階製造需求。SOLBERG®長期專注工業與真空過濾、氣液分離及油霧處理技術，產品可搭配真空泵浦、鼓風機、空壓機及各類真空製程設備。其核心在於針對不同製程產生的粉塵、液體、油霧及蒸氣建立防護，降低污染物進入關鍵設備的機會，延長真空泵浦使用壽命並減少維護成本。
SOLBERG®產品涵蓋真空入口過濾、氣液與油霧分離、蒸氣冷凝、化學吸附及高真空過濾。其中ST／CT系列可因應粗真空至中真空環境；CSL系列適用乾式及油式真空泵浦；針對中高真空及高潔淨製程，WL系列採用真空專用連接及不同過濾介質，並經100％氦氣洩漏測試，以維持真空系統完整性。
隨著半導體製程朝微細化與高潔淨度發展，真空污染控制重要性同步提高。晶圓製造、CVD化學氣相沉積、ALD原子層沉積等製程可能產生微粒、粉塵及化學蒸氣等副產物，長時間進入真空泵浦，將增加設備性能下降、維護及停機風險。
SOLBERG®可依真空度、氣體條件及污染物特性配置過濾方式，從入口端顆粒與液體攔截，到油霧、蒸氣及化學污染物處理，建立不同層級的防護架構，相關技術亦可延伸至真空鍍膜、電子、太陽能等高階製造應用。
SOLBERG®產品涵蓋真空入口過濾、氣液與油霧分離、蒸氣冷凝、化學吸附及高真空過濾。圖／SOLBERG提供
除了標準產品，慧智亦可依不同產業的氣體流量、溫度、管路、壓降及污染物特性，搭配SOLBERG®產品規劃客製化方案。以稻殼生質能源為例，稻殼經氣化產生合成氣（Syngas）後，可供發電設備進行能源轉換，但氣體中伴隨水分、焦油（Tar）、油霧及細微污染物，可能影響後端設備效率與長期運轉。
針對此類製程，可配置Gas/Liquid Separator氣液分離系統與二段式過濾架構，第一階段去除液滴、水分與焦油，第二階段再以精密不鏽鋼濾芯攔截微量油霧及細小污染物，在兼顧低壓降下提升氣體潔淨度。從標準過濾器進一步走向依製程條件設計的系統方案，也展現SOLBERG跨產業應用的彈性。
慧智結合郁冠累積的真空設備經驗，串聯真空設備、泵浦保護與污染控制需求。未來將持續拓展半導體、電子、生質能源及高階製造市場，讓真空過濾從設備保護元件，進一步成為提升製程可靠度的重要一環。
更多產品資訊請洽：慧智實業 https://www.pumpworld.com.tw/product-tag/solberg/
