無油式空壓機CDA系統，適用半導體/電子製造

無油式空壓機系統CDA適用於半導體與電子產品製造

無油空壓機搭配乾燥機及空氣過濾器，以利供給測試/封裝製程階段氣源使用

半導體與電子工廠和系統的技術性相當高，空壓機乾燥空氣系統（Compression Dryer Air, CDA），在精密製程中是不可缺少之設備，微污染控制已成為無塵室管理 (Clean Dry Air / Instrument Air) 的重要環節，適當之正壓保持，可確保產品質量穩定、符合標準。

產品應用：
許多工業製程都需要使用大量純淨的壓縮空氣，無塵室更是工廠的核心，除了需控制室內的溫度和溼度之外，還必須消除任何灰塵或其它污染物，因此CDA系統在工業設備廠為不可或缺，提供半導體、光電、電子、面板相關產業做分類、包裝、測試、處理、組裝、蝕刻、清潔等儀器使用或氣動設備儀控驅動之用；若供氣源含水份及細微顆粒，會使製程中精密產品受到污染，或無塵室內環境影響。

CDA空壓系統是一套驅動系統，包含空壓機、儲氣筒、乾燥機及過濾器等設置。
ISO 8573 針對 CDA 中會影響製程良率的各項重要指標如下：
• 重金屬元素分析
• 油份含量(總碳氫化合物)分析
• 微粒子數分析 (0.1um ~10um )
• 酸鹼氣體含量分析 (陰陽離子)
• 水份及露點分析
• 其他有機污染物分析
• CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析
• 過濾效率評估

空氣經過空壓機後會含有凝結水份及微粒粉塵，為提供精密製程使用潔淨乾燥氣源，須設置空壓機搭配乾燥系統，其中乾燥系統主要透過吸附式將壓縮空氣中水分吸附去除，並利用外部能量將吸附材中水分移除於乾燥機中，搭配零空氣耗損自動排水器排出冷凝水，最後在出氣端加裝三道不同過濾度的空氣過濾器(油霧分離器)，同時濾除空氣中雜質顆粒，符合無塵室環境控制。

型號 / 組裝配件：
• Q-AIR750D靜音箱型無油式空壓機 (含乾燥機) 最大壓力可達8kg/cm2，零壓力下流量為775LPM，露點溫度-5°C。
• 自動排水器利用磁力來操作排放零空氣損失的自動排水器，來排除空氣壓縮機、空氣過濾器、乾燥機以及來自所有類型的所排出的冷凝水。
• 300L儲氣筒，以便長時間供應氣體。
• VF-D CAF過濾器 4000L/min、空氣過濾器(油霧分離器) (0.3u)、空氣過濾器(油霧分離器) (0.01u)